К 21 Карбань, В. И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков. - М. : Радио и связь, 1988. - 104 с. - 0.40 р. Рубрики: радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): монокристаллы -- микроэлектроника Доп.точки доступа: Борзаков, Ю.И. Экземпляры всего: 1 Аб.2 (1) Свободны: Аб.2 (1) |