Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 32.843/К 21 Автор(ы) : Карбань В.И., Борзаков Ю.И. Заглавие : Обработка монокристаллов в микроэлектронике Выходные данные : Б.м., 1988 Колич.характеристики :104 с Цена : 0.40 р. ББК : 32.843 Предметные рубрики: радиоэлектроника Экземпляры :Аб.2(1) Свободны : Аб.2(1) Доп.точки доступа: Борзаков, Ю.И.