Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 22.37/И 75 Заглавие : Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы : Сб. статей Выходные данные : Б.м., 1980 Колич.характеристики :331 с Серия: Новости физики твердого тела; Вып. 10 Цена : 2.80 р. ББК : 22.37 Предметные рубрики: Физика твердого тела Экземпляры :Ч.з.1(1) Свободны : Ч.з.1(1) Доп.точки доступа: Вавилов, В.С. \ред.\