И 75 Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы [Текст] : Сб. статей / ред. В. С. Вавилов. - М. : Мир, 1980. - 331 с. - (Новости физики твердого тела ; вып. 10). - 2.80 р. Рубрики: Физика твердого тела Доп.точки доступа: Вавилов, В.С. \ред.\ Экземпляры всего: 1 Ч.з.1 (1) Свободны: Ч.з.1 (1) |